可提供风冷和水冷两种类型 (除机型EMT2200MK and EMT3300MK外)

可提供风冷、水冷两种类型 (风冷仅限 EBT70F 和 EBT240F)

ESA机型是基于EBARA成熟的罗茨泵技术而研发生产。ESA200W及较大型号适合LCD 光伏制造设备等行业中对大体积腔室的快速排气需求。ESA25-D和ESA70W在MO-CVD和EPI等应用上有大量的安装实绩。ESA机型还具有用于高气体负荷时的智能运行程序和先进的安全报警功能。

EV-PA是一款便携式的空冷泵，具有重量轻、噪音低等特点。

EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵，主要应用于轻制程的应用，具有超低的能耗和超高的能效。EV-S型泵采用了多种先进技术，如可调抽速，休眠和怠速功能，同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。

EVA：小型风冷干泵，适用于多种真空场合。低功耗，低噪音，可应用于清洁真空应用，如分析仪器和电子显微镜。