可提供风冷和水冷两种类型 (除机型EMT2200MK and EMT3300MK外)

可提供风冷、水冷两种类型 (风冷仅限 EBT70F 和 EBT240F)

ESA机型是基于荏原成熟的罗茨泵技术而研发生产。ESA200W及较大型号适合LCD 光伏制造设备等行业中对大体积腔室的快速排气需求。ESA25-D和ESA70W在MO-CVD和EPI等应用上有大量的安装实绩。ESA机型还具有用于高气体负荷时的智能运行程序和安全报警功能。

EV-PA是一款便携式的空冷泵，具有重量轻、噪音低等特点。

EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵，主要应用于轻制程的应用，具有超低的能耗和超高的能效。EV-S型泵采用了多种先进技术，如可调抽速，休眠和怠速功能，同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。

EVA：小型风冷干泵，适用于多种真空场合。低功耗，低噪音，可应用于清洁真空应用，如分析仪器和电子显微镜。

干泵一体机尾气处理系统整合了荏原长时间积累的干泵技术和尾气处理技术。该系统可为客户提供定制化的整合方案。

Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。该设备具备经市场证明了的处理性能以及可靠性，并能对客户的特殊规格要求进行灵活应对。

Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。该设备具备经市场证明了的处理性能和可靠性，并能对客户的特殊规格要求进行灵活应对。

G6机型能够吸收大多数一般流程和清洁气体，包括用于半导体、液晶面板、太阳能电池和led制造业务的全氟化碳。G6机型是在G5机型基础上发展而来的，非常适合大流量高热产氢气体的使用。

EG5机型能适用于大部分制程的尾气清理，包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动有效去除粉状副产物，从而实现维护和运行成本的降低。