上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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G5系列
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——G5系列
EG5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。
021-6058 1899
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产品特点
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产品特点
高效处理各种气体,包括温室气体,全氟化合物等
可根据气体种类按需调节燃料流量,从而降低运行成本
自动清洗、去除粉状副产物,增长运行时间
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