上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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半导体行业应用
半导体技术已广泛应用于电脑、智能手机、家电、汽车、医疗设备等日常生活中不可或缺的多种设备中。在半导体的制作流程中包括蚀刻、清洗、沉积、离子注入、平坦化处理等必要工艺,而用于这些工艺工程中最先进的制造设备与组件在性能、可靠性、安全性、环保等方面需通过严苛的要求。EBARA在业界尖端的技术实力也持续推进着日益微型化、高效化的半导体制造产业。
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