上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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集团历史
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百年庆典,挑战未来
体制整备
贡献社会
基础奠定
2004年
首台斜面边缘研磨设备
2009年
成立大连分公司
2010年
新建富津工场
2012年
创业100周年
2014年
成立无锡分公司
2015年
精密事业30周年
2016年
熊本工场建成
2021年
合肥荏原精密成立
2023年
成立深圳营业部
1985年
面向半导体产业开启精密电子事业
1986年
交付首台罗茨干式真空泵
1990年
交付首台电镀设备
1992年
交付首台CMP设备
1999年
上海荏原精密机械有限公司成立
1965年
新建藤泽工场,建立日本首套标准泵量产体制
1975年
新建袖浦工场
1912年
由井口在屋博士与畠山 一清创立井口式机械事务所
1920年
设立株式会社荏原制作所