上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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——EST
EST机型基于荏原创新性的螺杆泵技术制造,擅长应对重制程反应产生的化学副产物。EST最适合粉状、腐蚀性和可能需求一定高温的应用。
021-6058 1899
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产品特点
Specification Table
产品特点
镍合金,镍涂层等耐腐蚀型材料选配
灵活的加温选配
智能转速控制功能,保证足够的气体吞吐量
先进的预警和报警数据存储能力
手动报警设置功能(可编程的LCD控制器)
适用SEMI-S2/CEmarking/NRTL标准
Specification Table
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