——ESA

ESA机型是基于EBARA成熟的罗茨泵技术而研发生产。ESA200W及较大型号适合LCD 光伏制造设备等行业中对大体积腔室的快速排气需求。ESA25-D和ESA70W在MO-CVD和EPI等应用上有大量的安装实绩。ESA机型还具有用于高气体负荷时的智能运行程序和先进的安全报警功能。