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——ESR

机型ESR适用于从轻制程load locks、SEM到各类腐蚀性的工艺等。EBARA已经深刻意识到客户对于罗茨真空泵节能化、小型化、轻量化的需求。

产品特点
可选配适用于腐蚀性气体的配置(镍合金材料)
占地面积小,重量轻
氮气轴封可灵活选配:型号ESR20N(适用于无腐蚀性应用)
采用最新微处理器技术,控制灵敏
在泵运行过程中,液晶控制器的更换非常方便
降低运营成本
增强的泵速控制功能:宽泛的可控范围,空转模式
数字和模拟信号可用:用于连接过程工具的灵活接口
先进的数据存储能力
通过LCD控制器实现氮气报警设置
适用SEMI-S2/CE marking/NRTL标准
Specification Table

*1

Model

ESR  20N

ESR  30

ESR  30N

ESR  80W

ESR  80WN

ESR  100WN

ESR  200W

ESR  200WN

ESR  300W(N)

ESR  500W(N)

Pumping Speed


L/min

1,300~

2,000


3,000

4,000~

8,500

4,000~

10,000

10,000~

20,000


30,000


46,000

Ultimate Pressure*2

Pa

2.0

0.53

0.67

0.5

0.2

0.2

0.5

0.13

0.2

0.2


Connection

Gas Inlet

NW40

NW50

NW100

ISO160

Gas Outlet

NW40

Approx.Power at Ultimate Pressure

kW

0.7

1.7

1.0

1.1

2.9

3.1





Utility


Cooling  Water

Flow rate

L/min

2~8

3.5~8

2~5

2~8

2~5

2~8

3.5~8

Temperature

Max. 30


N2 Gas

Approx.  Flow rate  (N2-0 Mode)


Pa•m3/s

19~22  (0)

19~22  (3.4)

17~21  (4)

19~22  (3.4)

17~21  (4)

19~22  (3.4)



Power  Supply


Phase/  Volt/  Freq.

200V

Model

3Phase/200V/50Hz  3Phase/200-220V/60Hz

400V

Model

3Phase/380-400V/50Hz

3Phase/380-440V/60Hz

Power capacity

kV

40

7.0

8.0

10.6

12.3

Weight

kg

90

190

170

180

210

250

390

500