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——EV-S

EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有超低的能耗和超高的能效。EV-S型泵采用了多种先进技术,如可调抽速,休眠和怠速功能,同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。

产品特点
占用空间小、重量轻、低功耗
根据工艺应用灵活选择各种配置(EV-S*P型:含氮气吹扫,EV-S*N型:含镍合金材料+氮气吹扫)
直流电机驱动不受频率影响,提供了更低的能耗和相同的抽气性能
在高压力下,独特的排气设计也能保证抽气能力
先进的预警和报警数据存储功能
手动预警设置(可编程的LCD控制器)
先进传感器配置减少产品停机时间
适用于SEMI-S2/CE/NRTL标准
Specification Table