EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有超低的能耗和超高的能效。EV-S型泵采用了多种先进技术,如可调抽速,休眠和怠速功能,同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。