上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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G6系列
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——G6系列
G6机型能够吸收大多数一般流程和清洁气体,包括用于半导体、液晶面板、太阳能电池和led制造业务的全氟化碳。G6机型是在G5机型基础上发展而来的,非常适合大流量高热产氢气体的使用。
021-6058 1899
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产品特点
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产品特点
进气量是G5机型的3倍
去除粉状副产物,运行时间长
低运行成本,能够根据多种气体按需调整燃料流量
设计上方便维护,适用于高气体负载比如大容量粉状副产物捕集
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