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EV-X
由于工艺负荷和复杂性的增加，安装在Subfab中的组件系统的数量也在增加。对体积更小、更能承担高负荷的真空泵的需求与日俱增。 荏原专门应对此部分市场需求，推出了干式真空泵EV-X型。满足顾客对小型化、高负荷真空泵的要求。了解详情 -
EV-M
EV-M机型是专为重制程应用而设计的罗茨泵，在半导体、液晶和光伏电池等有大量副产物的制程中有大量实绩。EV-M掌握了抵抗重制程应用和能源效率之间的平衡，以充分满足客户的需要，同时减少停机时间和降低运行成本。了解详情 -
EST
EST机型基于荏原创新性的螺杆泵技术制造，擅长应对重制程反应产生的化学副产物。EST最适合粉状、腐蚀性和可能需求一定高温的应用。了解详情 -
ESR
机型ESR适用于从轻制程load locks、SEM到各类腐蚀性的工艺等。EBARA已经深刻意识到客户对于罗茨真空泵节能化、小型化、轻量化的需求。了解详情 -
EBARA 精密·电子产品手册（中文版）
公司产品的特点介绍以及规格列举。了解详情 -
Abatement G5 G6 TNDHigh performance wet trap Model FST, ETRAP, FTRAP Combustion type Model TND, G5, G6了解详情
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Abatement GWS GTWet scrubber Model G-WS Catalyst/Absorption Model GT了解详情
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