上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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OZW
OZW机型通过荏原独特的清洁型高浓度臭氧水发生器和无尘泵，可以最大限度地减少脉动和颗粒，产生高浓度的纯净水。
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UFP-AS
UFP型是在半导体晶圆和面板上形成凸块、重新布线、导通孔等细微形状的洁净室安装型电镀装置。
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EAC
EAC型是通过对半导体晶圆端面的斜面部分以及晶圆表面和背面的边缘部分进行研磨，去除缺陷和不必要薄膜的装置。
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