上海荏原精密机械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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真空解决方案
化学机械研磨设备
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——EMT
可提供风冷和水冷两种类型 (除机型EMT2200MK and EMT3300MK外)
021-6058 1899
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产品特点
Specification Table
产品特点
磁悬浮轴承
泵速范围:340 ~ 3,300 L/s
集成控制器 (EMT2200MK 和 EMT3300MK)
可提供风冷和水冷两种类型 (除机型EMT2200MK and EMT3300MK外)
可提供耐高温和抗腐蚀配置
其他各类特殊配置(高温、超低振动)
可任意方向安装
可实现网络连接
符合 CE , SEMI S2 & NRTL 标准
Specification Table
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