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Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。
Model | F-REX | |
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Configuration | Number of top rings | 2 (For 200mm wafers) |
Number of turntables | 2 | |
Number of cleaning units | 4 | |
Outline dimensions (W x D X H mm) | 2,000 x 3,490 x 2,300 |