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Model F-REX系列 本装置是用于无尘室中对半导体晶元表面进行化学机械研磨的CMP设备。设备具备经市场证明了的高度可靠以及优越的过程处理性能,并能对各个客户的特殊规格要求进行灵活应对。
Model | F-REX | |
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Configuration | Number of top rings | 4 (For 300mm wafers) |
Number of turntables | 4 | |
Number of turntables | 6 | |
Outline dimensions (W x D X H mm) | Number of cleaning units | 2,300 x 4,950 x 2,550 |