平板显示器（Flat Panel Display，FPD）面板的生产制造过程非常繁复，从一块玻璃基板到出厂成品至少需要 300 道流程工艺，全程需在无尘的环境、精密的技术工艺下进行。所以，高度可靠的真空供应在面板生产过程中尤为重要。平板显示器（FPD）制造制程需要能够支持巨大加工室，并在最大可靠性的情况下输送高气体流速的真空和减排设备。需要使用真空系统来泵送有毒、自燃和腐蚀性气体，并处理制造制程舱中形成的大量固态制程副产物。