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  • 2004年
  • 2009年
  • 2010年
  • 2012年
  • 2014年
  • 2015年
  • 2016年
  • 2021年
  • 2023年
  • 2004年
    首台斜面边缘研磨设备
  • 2009年
    成立大连分公司
  • 2010年
    新建富津工场
  • 2012年
    创业100周年
  • 2014年
    成立无锡分公司
  • 2015年
    精密事业30周年
  • 2016年
    熊本工场建成
  • 2021年
    合肥荏原精密成立
  • 2023年
    成立深圳营业部
  • 1985年
  • 1986年
  • 1990年
  • 1992年
  • 1999年
  • 1985年
    面向半导体产业开启精密电子事业
  • 1986年
    交付首台罗茨干式真空泵
  • 1990年
    交付首台电镀设备
  • 1992年
    交付首台CMP设备
  • 1999年
    上海荏原精密机械有限公司成立
  • 1965年
  • 1975年
  • 1965年
    新建藤泽工场,建立日本首套标准泵量产体制
  • 1975年
    新建袖浦工场
  • 1912年
  • 1920年
  • 1912年
    由井口在屋博士与畠山 一清创立井口式机械事务所
  • 1920年
    设立株式会社荏原制作所