——EV-X

由于工艺负荷和复杂性的增加，安装在Subfab中的组件系统的数量也在增加。对体积更小、更能承担高负荷的真空泵的需求与日俱增。 荏原专门应对此部分市场需求，推出了干式真空泵EV-X型。满足顾客对小型化、高负荷真空泵的要求。