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Model EV-M 干式真空泵

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以荏原独家高温技术,在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中,满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能,同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配耐腐蚀性材料,提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容,能够满足大范围的高负荷工艺要求。
产品详情

EV-M机型是专为重制程应用而设计的罗茨泵,在半导体、液晶和光伏电池等有大量副产物的制程中有大量实绩。EV-M掌握了抵抗重制程应用和能源效率之间的平衡,以充分满足客户的需要,同时减少停机时间和降低运行成本。


Model EV-M is designed for harsh-duty applications where large volumes of by-products are generated in the semiconductor, liquid crystal, and solar cell manufacturing processes. Model EV-M has mastered the balance between resistance to harsh-duty applications and energy efficiency. This next-generation dry vacuum pump series sufficiently address customer needs to minimize downtime and reduce running cost.


产品特点:

•智能转速控制功能,保证足够的气体吞吐量
•占地面积小
•能耗低,能效高
•标配耐腐蚀材料,可选配耐腐蚀涂层


Model EV-M 干式真空泵
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以荏原独家高温技术,在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中,满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能,同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配耐腐蚀性材料,提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容,能够满足大范围的高负荷工艺要求。
021-60581899
产品详情

EV-M机型是专为重制程应用而设计的罗茨泵,在半导体、液晶和光伏电池等有大量副产物的制程中有大量实绩。EV-M掌握了抵抗重制程应用和能源效率之间的平衡,以充分满足客户的需要,同时减少停机时间和降低运行成本。


Model EV-M is designed for harsh-duty applications where large volumes of by-products are generated in the semiconductor, liquid crystal, and solar cell manufacturing processes. Model EV-M has mastered the balance between resistance to harsh-duty applications and energy efficiency. This next-generation dry vacuum pump series sufficiently address customer needs to minimize downtime and reduce running cost.


产品特点:

•智能转速控制功能,保证足够的气体吞吐量
•占地面积小
•能耗低,能效高
•标配耐腐蚀材料,可选配耐腐蚀涂层


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