Model G5 尾气处理设备

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G5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。
产品详情

G5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。


Model G5 is capable of abating the majority of general processing and cleaning gases including PFCs used in the manufacturing operations of semiconductors, LCD panels, solar cells, and LEDs. This compact system automatically removes powdery by-products with on-demand operation, thus achieving reduction in maintenance and running cost.

产品特点:


  • 高效处理各种气体,包括温室气体,全氟化合物等
  • 可根据气体种类按需调节燃料流量,从而降低运行成本
  • 自动清洗、去除粉状副产物,增长运行时间


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G5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。
021-60581899
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G5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。


Model G5 is capable of abating the majority of general processing and cleaning gases including PFCs used in the manufacturing operations of semiconductors, LCD panels, solar cells, and LEDs. This compact system automatically removes powdery by-products with on-demand operation, thus achieving reduction in maintenance and running cost.

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  • 高效处理各种气体,包括温室气体,全氟化合物等
  • 可根据气体种类按需调节燃料流量,从而降低运行成本
  • 自动清洗、去除粉状副产物,增长运行时间