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Model G5 尾气处理设备

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G5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。
产品详情

G5型是制造工艺所用可高效处理各种气体的燃烧式废气处理装置。可批量处理多种气体,能够高效进行通常处理起来较为困难的PFCs气体的处理。通过独家的副产物处理措施以及结合处理对象气体种类和数量实施的可调式(燃料供应量可调)运行,能够降低运行成本。该装置是半导体、液晶面板、太阳能电池和LED等电子元件制造以及化学材料工厂和各种研究室等用途的最佳选择。产品阵容还包括最大流量为1,200L/min的大流量机型。


Model G5 is capable of abating the majority of general processing and cleaning gases including PFCs used in the manufacturing operations of semiconductors, LCD panels, solar cells, and LEDs. This compact system automatically removes powdery by-products with on-demand operation, thus achieving reduction in maintenance and running cost.

产品特点:


  • 燃烧式废气处理装置
  • 批量处理各种气体
  • 高效处理PFCS
  • 副产物处理措施和粉尘自动排放功能
  • 运行成本低
  • 运行时间长
  • 可根据气体种类按需调节燃料流量,从而降低运行成本
  • 自动清洗、去除粉状副产物,增长运行时间
  • 可满足CE标识/SEMI-S2/NTRL要求


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G5机型能适用于大部分制程的尾气清理,包含半导体、液晶面板、太阳能电池和LED制造过程中的废气包括全氟化合物。该集成系统可自动高效去除粉状副产物,从而实现维护和运行成本的降低。
021-60581899
产品详情

G5型是制造工艺所用可高效处理各种气体的燃烧式废气处理装置。可批量处理多种气体,能够高效进行通常处理起来较为困难的PFCs气体的处理。通过独家的副产物处理措施以及结合处理对象气体种类和数量实施的可调式(燃料供应量可调)运行,能够降低运行成本。该装置是半导体、液晶面板、太阳能电池和LED等电子元件制造以及化学材料工厂和各种研究室等用途的最佳选择。产品阵容还包括最大流量为1,200L/min的大流量机型。


Model G5 is capable of abating the majority of general processing and cleaning gases including PFCs used in the manufacturing operations of semiconductors, LCD panels, solar cells, and LEDs. This compact system automatically removes powdery by-products with on-demand operation, thus achieving reduction in maintenance and running cost.

产品特点:


  • 燃烧式废气处理装置
  • 批量处理各种气体
  • 高效处理PFCS
  • 副产物处理措施和粉尘自动排放功能
  • 运行成本低
  • 运行时间长
  • 可根据气体种类按需调节燃料流量,从而降低运行成本
  • 自动清洗、去除粉状副产物,增长运行时间
  • 可满足CE标识/SEMI-S2/NTRL要求


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