上海荏原精密机械有限公司

Model EV-S 干式真空泵

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EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有能耗低和能效高的特点。
产品详情

EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有能耗低和能效高的特点。EV-S型泵采用了多种先进技术,如可调抽速,休眠和怠速功能,同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。


Model EV-S is an industry-standard, robust-roots type dry vacuum technology designed ideally for a light- to medium-duty applications having ultra low power consumption. Model EV-S pumps consists of various advanced technologies, such as controllable pumping speed for broadband pumping capacity coverage, sleep & idle mode function and the most advanced interlock feature as well as optional anti-corrosion Niresist material.

产品特点:


  • 占用空间小、重量轻、低功耗
  • 根据工艺应用灵活选择各种配置(EV-S*P型:含氮气吹扫,EV-S*N型:含镍合金材料+氮气吹扫)
  • 直流电机驱动不受频率影响,提供了更低的能耗和相同的抽气性能
  • 在高压力下,独特的排气设计也能保证抽气能力
  • 先进的预警和报警数据存储功能
  • 手动预警设置(可编程的LCD控制器)
  • 先进传感器配置减少产品停机时间
  • 适用于SEMI-S2 / CE/ NRTL标准



Model EV-S 干式真空泵
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EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有能耗低和能效高的特点。
021-60581899
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EV-S机型是按SEMI工业标准设计的一款罗茨干式真空泵,主要应用于轻制程的应用,具有能耗低和能效高的特点。EV-S型泵采用了多种先进技术,如可调抽速,休眠和怠速功能,同时具有先进的安全报警功能以及可选配的耐腐蚀材料。


Model EV-S is an industry-standard, robust-roots type dry vacuum technology designed ideally for a light- to medium-duty applications having ultra low power consumption. Model EV-S pumps consists of various advanced technologies, such as controllable pumping speed for broadband pumping capacity coverage, sleep & idle mode function and the most advanced interlock feature as well as optional anti-corrosion Niresist material.

产品特点:


  • 占用空间小、重量轻、低功耗
  • 根据工艺应用灵活选择各种配置(EV-S*P型:含氮气吹扫,EV-S*N型:含镍合金材料+氮气吹扫)
  • 直流电机驱动不受频率影响,提供了更低的能耗和相同的抽气性能
  • 在高压力下,独特的排气设计也能保证抽气能力
  • 先进的预警和报警数据存储功能
  • 手动预警设置(可编程的LCD控制器)
  • 先进传感器配置减少产品停机时间
  • 适用于SEMI-S2 / CE/ NRTL标准



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