上海荏原精密机械有限公司
集团历史
2016
· 熊本工场建成
2015年
· 精密事业30周年
2014年
· 成立无锡分公司
2012年
· 创业100周年
2010年
· 新建富津工场
2009年
· 成立大连分公司
2004年
· 首台斜面边缘研磨设备                                                   
1999年
· 上海荏原精密机械有限公司成立                                     
1992年
· 交付首台CMP设备                                                          
1990年
· 交付首台电镀设备                                                           
1986年
· 交付首台罗茨干式真空泵                                                
1985年
· 面向半导体产业开启精密电子事业                                             
1975年
· 新建袖浦工场                                           
1965年
· 新建藤泽工场,建立日本首套标准泵量产体制                                                       
1920年
· 设立株式会社荏原制作所                                                     
1912年
· 由井口在屋博士与畠山 一清创立井口式机械事务所                                                          
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